Облучение электронами полупроводниковых устройств сравнительно большими дозами (порядка 400 кГр) улучшает их быстродействие и другие эксплуатационные характеристики, что достаточно широко используется на практике.
Обработка пучком электронов в полупроводниковой промышленности используется для повышения скорости переключения для таких устройств, как: диоды быстрого восстановления, биполярные транзисторы (BJT), биполярные транзисторы с изолированным затвором (IGBT), силовые выпрямители, тринисторы, быстродействующие тиристоры и т.п.
Когда полупроводники подвергаются электронному излучению, в материале образуются дефекты кристаллической решетки, которые влияют на их поведение при переключении, значительно ускоряя его.
Ключевые преимущества технологии:
-
Электронная обработка обратима (устройство можно привести в первоначальное состояние путем отжига при температурах выше 300⁰С);
-
Электронная обработка при высоких энергиях (10 МэВ) обеспечивает высокую однородность и воспроизводимость результатов обработки;
-
Процесс можно осуществлять на любой стадии изготовления полупроводников.